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截至2026年3月3日 13:25，中证半导体材料设备主题指数(931743)下跌3.79%。成分股方面，龙图光罩领跌7.60%，神工股份下跌7.27%，晶升股份下跌7.14%，艾森股份下跌6.99%，长川科技下跌6.55%。半导体设备ETF易方达(159558)最新报价2.11元。拉长时间看，截至2026年3月2日，半导体设备ETF易方达近1周累计上涨2.14%，涨幅排名可比基金2/5。（以上所列股票仅为指数成份股，无特定推荐之意）